中国取得EUV技术重要突破

正文摘要:

【文/观察者网 熊超然】美西方越是打压封锁，越会倒逼中国加快自主创新步伐。这一点，早已一次又一次应验，如今也有望出现在半导体的极紫外光刻机（EUV）领域。据《中国激光》杂志今年第6期（2025年3月下）所刊登的 ...